3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業:株式会社ジェーイーエル
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年01月07日~2026年02月03日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1~23 件を表示 / 全 23 件
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送!ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持:CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク:250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<高精度・高速性・高剛性>大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております!
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(~450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(~G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(~450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(~450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(~G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
第3世代ガラス基板搬送対応!各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持:基板裏面を真空吸着 ■アーム:ステッピングモータ仕様旋回 ■上下軸:サーボモータ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送!ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸:インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度&高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】
自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能(本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています)
搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください。
ジェーイーエルは、1993年の創立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶硝子基板搬送用ロボットの専業メーカーとして、お客様のより良い製品づくりのお手伝いをして参りました。おかげさまで国内外1,800社を超えるお客様とお取引をいただいており、確かな実績と高い品質が「搬送ロボットはジェーイーエル」と言わる所以です。 弊社では生産システムと連携して一貫した工程管理を行い、短納期を実現しております。自社開発の生産システム(JOISYS)により受注情報、発注情報、在庫管理、工程管理情報、品質管理、開発情報、製品出荷情報を一元管理し、迅速な情報伝達及び納期管理と品質向上を実現しています。自社で開発設計から製品評価を短期間で完結できる社内体制を持ち、業界トップレベルのコストパフォーマンスに優れた製品の開発を中心に物つくりを行っております。また、ジェーイーエルの最大の強みはカスタマイズ対応力です。お客様のニーズを迅速に捉え、低コスト且つタイムリーな物つくりをモットーに柔軟に対応しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
モータには減速機組付け可能!コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式:RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
達成率100% !1日180往復程度の走行ができるようになった事例をご紹介
SOCIAL ROBOTICS株式会社の屋内汎用移動ロボット「BUDDY」を ガラス製造工場に導入した事例をご紹介します。 工場内の空き箱運搬のため、人が運んでいた空箱の運搬作業を すべてロボットに任せることを目標に導入。 導入後は1日180往復程度を走行し、空箱以外にも部品などを 搬送できるようになりました。 【事例概要(抜粋)】 ■導入時期・台数:2022.6月1台 ■導入目的:工場内の空き箱運搬 ■導入目標:人が運んでいた空箱の運搬作業をすべてロボットに任せる ■運搬物:ダンボール箱 ■走行環境:10-15m 悪路 ■達成率:100% 1日180往復程度の走行 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スカラロボットから重量搬送までの各種ハンドリングロボット、パレタイズ、アーク・スポット溶接などの総合ラインナップをご紹介
【掲載概要】(ダウンロードからご覧ください) ■ウイングスライサー型ロボット(スカラロボット) ■小型高速ハンドリングロボット(3kg~7kg可搬) ■パワフル&コンパクト多目的ロボット((10kg~70kg可搬) ■7軸ロボット(20kg~50kg可搬) ■重量物可搬用ロボット(280kg~700kg可搬) ■パラタイジングロボット ■クリーンルーム内作業ロボット(液晶、ガラス搬送 ■スポット溶接ロボット ■アーク溶接ロボット ■コントローラ&ソフトウェア
半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送!
半導体ウエハ搬送容器 SHIPPING BOXは、半導体技術の基盤であるウエハ(φ300mm~φ50mm)を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。変動の激しいIT業界でQCDともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 3軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。4軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10^-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
名刺サイズのコンパクトなボディで最高水準の吸込み能力を実現! 省エネ機能やIO-Link通信に対応したタイプもラインアップ!
コンパクトエジェクタ SCPMシリーズは、小型ボディにさまざまな機能を搭載した省スペースな真空発生器です。 機能別に3種類のモデルをラインアップし、真空吸着と真空破壊が可能なベーシックモデル『SCPMb』をはじめ、状態監視結果の表示も可能なディスプレイ付きスイッチや省エネ機能を搭載した『SCPMc』、モニタリング結果などの各種情報の確認や機器設定などを設備外から行える高機能モデル『SCPMi』の中から、用途に合わせて選択する事ができます。 【特長】 〇名刺サイズの高効率・超小型真空発生器 →最小限のスペースで最大限の吸着力を実現 〇省配線デザイン →ケーブルがかさばらず配線作業を軽減 〇省エネ機能搭載(SCPMc / SCPMi) →圧縮エアの消費量を最大80%削減するエアセービング機能を搭載 〇最大16台のエジェクタをマニホールド化 →省配線・省配管で設置工数、接続部品コストを削減
産業用ロボットシステムならワンストップの当社にお任せください!
当社では、ご提案・企画・設計・製作・立ち上げまで一貫して行う ロボットシステム製造を展開しております。 メカ設計、電気ハード設計、PLCプログラム&タッチパネル画面設計、 ロボットプログラム設計は専門技術者が全て社内にて設計しており、 痒い所に手が届く産業用ロボットシステムの設計が可能。 その他にも、安全柵無しで人と協力し働く事が出来る協働ロボットの 取り扱いも行っています。 【主たる生産品】 ■ロボットシステム・省力化装置 ■各種検査装置 ■PLCソフトウェア ■ロボットプログラム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ~ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ~ ※CAD図サンプル有
超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒3軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制 ○高精度な位置決め ⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無 ○高剛性 ⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に 対し剛性が高い構造です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。